服務(wù)熱線
13051256352
產(chǎn)品型號(hào): G100C
所屬分類:G100C質(zhì)量流量控制器
更新時(shí)間:2024-07-01
瀏覽次數(shù):6115
簡(jiǎn)要描述:具有高精度、高分辨率、高重復(fù)性和高可靠性等特點(diǎn)。產(chǎn)品內(nèi)置多種氣體和混合氣體。
G100C質(zhì)量流量控制器特點(diǎn)
l 高精度、高分辨率控制
l DC 9-36V寬電壓供電
l 低功率,功率<2W
l 集成40種基礎(chǔ)氣體種類
l 可自定義10種混合氣體
l 控制參數(shù)自整定功能
l 數(shù)字化控制,RS-485 Modbus RTU通信模式
l 寬流量量程范圍
l 無需預(yù)熱
l 無安裝方向限制
l 具有高重復(fù)性和高可靠性
l 采用電磁比例閥,使用壽命長(zhǎng),響應(yīng)速度快
l 自帶溫度補(bǔ)償,補(bǔ)償范圍0-50℃
l 內(nèi)部閉環(huán)控制,具有高穩(wěn)定性
l 小封裝尺寸
量程及精度簡(jiǎn)介
l 可用量程:
n 最大0-20slpm
n 最小0-10sccm
n 常備量程請(qǐng)參考選型表
l 量程比:100:1
l 滿量程精度:±0.5%
l 讀取精度:±1%
l 可重復(fù)性:±0.5%FS
l 響應(yīng)時(shí)間:<100ms(調(diào)節(jié)PID控制參數(shù)可縮短響應(yīng)時(shí)間)
數(shù)字式設(shè)計(jì)簡(jiǎn)介
G100C系列質(zhì)量流量控制器標(biāo)配高精度傳感器和數(shù)字電路,數(shù)字電路可完成測(cè)量及控制所需的所有基本功能。G100C系列采用標(biāo)準(zhǔn)的RS-485 Modbus RTU通信模式。RS-485總線最高可擴(kuò)展至255臺(tái)設(shè)備同時(shí)使用。
應(yīng)用領(lǐng)域
l 氣相和液相色譜儀
l 半導(dǎo)體工藝
l 環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備
l 微反應(yīng)裝置及材料制備實(shí)驗(yàn)裝置(CVD)
l 氣體發(fā)生器
l 配氣混氣系統(tǒng)