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質(zhì)量流量控制器

質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品型號: G300C

所屬分類:G300C質(zhì)量流量控制器

更新時間:2024-07-01

瀏覽次數(shù):6096

簡要描述:G300系列產(chǎn)品采用層流壓差法測量流量,具有高精度、高分辨率、高重復性和高可靠性等特點。產(chǎn)品內(nèi)置多種氣體和混合氣體,采用模擬數(shù)字等多種控制方式。

詳細說明:

G300C 質(zhì)量流量控制器特點 

? 高精度、高分辨率控制 

? 低功率,功率<2W 

? 集成 20 種基礎氣體種類 

? 可自定義 10 種混合氣體

? 控制參數(shù)自整定功能 

? 數(shù)字化控制,RS-485 Modbus RTU 通信模式

? 寬流量量程范圍 

? 無需預熱

? 無安裝方向限制 

? 具有高重復性和高可靠性 

? 采用電磁比例閥,使用壽命長,響應速度快 

? 自帶溫度補償,補償范圍 0-50℃ 

? 內(nèi)部閉環(huán)控制,具有高穩(wěn)定性

? 小封裝尺寸 量程及精度簡介 

? 可用量程: 

? 最大 0-50slpm 

? 最小 0-1sccm 

? 常備量程請參考選型表 

? 量程比:1000:1 

? 滿量程精度:±0.2% 

? 讀取精度:±0.8% 

? 可重復性:±0.2%FS

? 響應時間:<100ms(調(diào)節(jié) PID 控制參數(shù)可縮 短響應時間) 

數(shù)字式設計簡介 G300C 系列質(zhì)量流量控制器標配高精度傳 感器和數(shù)字電路,數(shù)字電路可完成測量及控制所 需的所有基本功能。G300C 系列采用標準的 RS-485 Modbus RTU 通信模式。RS-485 總線最高 可擴展至 255 臺設備同時使用。 

應用領域 

? 氣相和液相色譜儀 

? 半導體工藝 

? 環(huán)境監(jiān)測設備 

? 微反應裝置及材料制備實驗裝置(CVD) 

? 氣體發(fā)生器

? 配氣混氣系統(tǒng)



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